氣體流量是等離子清洗機處理效果是否穩(wěn)定的技術(shù)參數(shù)的重要參照。不同類型的等離子清洗機會使用不同的工藝氣體，并且對于氣體流量控制器的選擇會有所不同。我們總結(jié)了一些氣體流量控制器選擇的經(jīng)驗分享給大家。

在選擇大氣等離子清洗機的流量控制器時，根據(jù)放電形式不同，大氣等離子清洗機放電所需氣體條件也是有講究的。常見的射流型和射頻型大氣等離子清洗機，應(yīng)該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備的正常運行。通常的流量控制方式是以調(diào)壓閥和手動浮子流量計配合的方式來保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。

大氣等離子清洗機建議選用帶有流量控制器的專用氣源來為其提供穩(wěn)定的工作氣體。此裝置最大的優(yōu)點是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續(xù)穩(wěn)定。

而選擇真空等離子清洗機的流量控制器時，則更關(guān)注工藝氣體流量的穩(wěn)定性，它會影響工業(yè)型真空等離子清洗機的處理效果，大多數(shù)工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機都是選用質(zhì)量流量控制器來實現(xiàn)對工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機實際使用過程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機也會用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器注：單位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

通入不同的工藝氣體，建議選擇對應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體的穩(wěn)定和計量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學特性不同，使用同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器會存在流量誤差和安全隱患。如使用的是常規(guī)工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標準，只需保證流量穩(wěn)定即可；但是對于H2、CF4等特殊氣體，易爆易燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。

最后實驗型真空等離子清洗機機，通常對流量控制要求不是非常嚴格，純手動操作的設(shè)備，也會選用手動浮子流量計。